廈門真空泵維修-廈門太星機(jī)電(在線咨詢)-半導(dǎo)體真空泵維修

廈門太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷售及維修工程師團(tuán)隊(duì)組成，公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴(kuò)散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?

1.極限真空

如果對一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì)，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能大大改善，極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa，起始壓力正好是機(jī)械泵的極限壓力，因此，油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級泵，將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。

2.大反壓強(qiáng)

大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)大值。如果前級泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于大反壓強(qiáng)，則擴(kuò)散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動(dòng)理論來推算出來。

4.設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑?

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擴(kuò)散泵的缺點(diǎn)是返油問題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油擴(kuò)散泵致命的缺點(diǎn)就是泵油返流污染被抽系統(tǒng)。經(jīng)過大量的研究，現(xiàn)代擴(kuò)散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施，使擴(kuò)散泵的返油率降得很低。所有的油擴(kuò)散泵都存在一定程度的返流現(xiàn)象。返流的氣體是少量殘余的碳?xì)浠衔铩７盗饔袃蓚€(gè)不同性質(zhì)的來源：泵油分子朝向擴(kuò)散泵頂噴咀的上方運(yùn)動(dòng)構(gòu)成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發(fā)。利用好的鍋爐和噴咀設(shè)計(jì)，可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設(shè)置水冷擋油帽，它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置，由于不斷對冷帽結(jié)構(gòu)的改進(jìn)，使主要返流大大降低。

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現(xiàn)代的油擴(kuò)散泵在泵入口處，泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發(fā)速率的水平。

只有在使用時(shí)遵守一定的操作規(guī)程，才能保證系統(tǒng)的正常工作。前已詳細(xì)敘述過有關(guān)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵的操作規(guī)程。經(jīng)人們生產(chǎn)實(shí)踐，對排氣系統(tǒng)，也同樣總結(jié)出來一套操作規(guī)程。以高真空排氣系統(tǒng)為例（其他真空設(shè)備可仿照施行），其操作規(guī)程如下：①檢查真空系統(tǒng)各部分，熟悉系統(tǒng)的氣路結(jié)構(gòu)，了解真空系統(tǒng)各元件的作用以及操作部分的電路聯(lián)接。②關(guān)閉放氣閥門，啟動(dòng)機(jī)械泵，對系統(tǒng)進(jìn)行抽氣，并隨時(shí)用火花檢漏器對系統(tǒng)各部分進(jìn)行檢漏。如系全金屬系統(tǒng)，則可關(guān)閉閥門，用真空計(jì)讀數(shù)記下P-t曲線（作靜態(tài)升壓試驗(yàn)）。如壓強(qiáng)隨時(shí)間呈直線上升，可斷定系統(tǒng)有漏氣源，應(yīng)進(jìn)行檢漏。③當(dāng)系統(tǒng)真空度達(dá)到油擴(kuò)散泵的前置壓強(qiáng)（5×10-2托）后，啟動(dòng)擴(kuò)散泵，使加熱電流逐漸升到額定（佳）值。在啟動(dòng)擴(kuò)散泵前，必須先開冷卻水。④擴(kuò)散泵正常工作后，用火花檢漏器（或熱偶計(jì)）判斷量測系統(tǒng)的真空度。到10-3托以上（熱偶計(jì)近滿偏或95格以上）才能使用電離真空計(jì)。使用時(shí)先對規(guī)管除氣，后測量真空度。